機(jī)器人已在半導(dǎo)體工業(yè)很長(zhǎng)一段時(shí)間，半導(dǎo)體制造作業(yè)機(jī)器人從機(jī)械任務(wù)到智能任務(wù)。半導(dǎo)體制造過程中的缺陷檢測(cè)是由機(jī)器人完成的，其速度足夠快，可以在飛行中進(jìn)行測(cè)試。他們用的是一個(gè)高分辨率的相機(jī)，前面有一個(gè)顯微鏡。機(jī)器視覺系統(tǒng)對(duì)采集到的圖像進(jìn)行處理。處理通常包括兩個(gè)階段：缺陷檢測(cè)和缺陷分類。

　　半導(dǎo)體機(jī)器人的缺陷檢測(cè)

　　缺陷檢測(cè)是機(jī)器視覺過程，由高速比較晶片上的相鄰區(qū)域具有相同的幾何形狀。由于晶片是由一組芯片(染料)組成，并排建造，所以比較芯片的對(duì)應(yīng)位置(染料到染料)是較有效的。另一種比較方法是細(xì)胞對(duì)細(xì)胞，用于存儲(chǔ)芯片，其中類似的幾何圖形駐留在每個(gè)芯片中。所有的比較是為了使三個(gè)重復(fù)的元素(細(xì)胞或染料)能夠發(fā)現(xiàn)一個(gè)是有缺陷的。在內(nèi)部，比較達(dá)到像素級(jí)，以支持較新的半導(dǎo)體技術(shù)(通道寬度)。自動(dòng)對(duì)焦和圖像配準(zhǔn)是重要的機(jī)器視覺任務(wù)，使整個(gè)過程。任何有問題的晶片區(qū)域都存儲(chǔ)在分類階段。

　　半導(dǎo)體用機(jī)器人的缺陷分類

　　缺陷分類是識(shí)別缺陷類型，以便對(duì)半導(dǎo)體制造過程進(jìn)行修正和恢復(fù)。例如，塵埃粒子可能指向生產(chǎn)環(huán)境空氣過濾的問題。缺陷分類采用了經(jīng)典的分類方法。計(jì)算機(jī)視覺算法。特征提取和一些圖像和幾何特性被涉及到。近年來，人們開始采用深度學(xué)習(xí)技術(shù)進(jìn)行分類。錯(cuò)誤類型標(biāo)記的缺陷圖像在學(xué)習(xí)階段?；?/span>

　　深度學(xué)習(xí)的分類方法優(yōu)于經(jīng)典的機(jī)器視覺算法，后者能夠?qū)︻A(yù)先編程的缺陷(對(duì)應(yīng)于程序規(guī)則)進(jìn)行分類，利用深度學(xué)習(xí)，系統(tǒng)可以檢測(cè)每種類型的較大變化并從任何分類中學(xué)習(xí)。盈泰德視覺為客戶提供為其半導(dǎo)體業(yè)務(wù)定制的完善機(jī)器視覺軟件，如果客戶在這方面又需求可以聯(lián)系我們。